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Silex助力矽睿科技實現六軸IMU芯片規模量產

作者:
耐威科技
來源:
耐威科技
發布時間:
2019/10/21

  近日,耐威科技全資子公司Silex Microsystems(簡稱“Silex”)與矽睿科技(簡稱“QST”)的深度合作取得階段成果,成功助力其實現六軸慣性傳感器(IMU)芯片MEMS 晶圓的多批Wafer Lots批量投片、產品驗證及規模量產。

Single-die 6-Axis MEMS with TSV technology

  QST IMU器件在業界第一個采用了硅通孔(TSV)技術,將厚單晶硅可動結構層真空鍵合在TSV層和蓋板層之間,相對其他慣性傳感器技術具有更強的縮減尺寸的潛力。QST MEMS獨特的制造工藝實現了雙氣壓腔和優越的單質量塊陀螺儀/加速度計設計,在提高可靠性、減少MEMS傳感元件的尺寸和成本的同時,在消費類IMU產品里實現了最低的噪聲。

  作為一家擁有自主核心技術的MEMS傳感器公司,矽睿科技在國內首家實現了六軸IMU芯片的規模量產,截至2019年9月底,已累計出貨超過一百萬顆。

  針對此次合作的成功,Silex CEO Dr. Edvard K?lvesten表示:“作為一家純MEMS代工廠,Silex擁有成熟的TSV等工藝技術及先進的制造設備,我們很高興能與QST深度合作,共同促成六軸IMU產品的規模量產。除了持續對位于瑞典的8寸MEMS晶圓廠進行追加投入外,Silex位于北京亦莊的新MEMS 8寸Fab 也正在全速建設中,我們期待為更多像QST這樣的戰略合作伙伴提供更有力的支持。”

  矽睿科技CEO孫臻表示:“六軸IMU芯片的市場需求非常強勁,同時增長迅速,特別是在消費電子產業發展迅速的亞太及中國市場。QST的消費級六軸IMU芯片具備低噪聲等性能上的競爭優勢。迄今為止,QST的IMU MEMS 設計已在數家MEMS晶圓廠實現量產,相信此次MEMS工藝優化及規模量產的成功,為QST大規模市場推廣IMU傳感器產品提供了產能上的進一步保證。”

  六軸IMU芯片 QMI8610簡介:

6-axis IMU QMI8610

  QST QMI8610 集成了3軸陀螺儀和3軸加速度計,是一款完整的6D MEMS慣性測量單元(IMU),該產品廣泛應用于平衡車,云臺,無人機,智能手機及可穿戴,機器人等消費電子產品領域。自去年5月發布及推廣以來已得到了客戶的廣泛認可。

  瑞典Silex成立于2000年,長期專注于MEMS芯片的工藝開發及晶圓制造,擁有世界先進的純MEMS代工工藝及不斷增長的代工產能。2012年以來,Silex一直保持在全球MEMS晶圓代工第一梯隊。在2018年全球MEMS晶圓制造廠商排名中,瑞典Silex繼續位列純制造廠商第二名、制造廠商第四名,與STMicroelectronics、TELEDYNE DALSA、SONY和TSMC一同位列全球前五。

 

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